半导体设备用超高纯316L不锈钢夹杂物控制水平解析
高占江, 翁建寅, 骆辉, 罗学武, 徐翔宇, 付建勋
Analysis of inclusion control levels in ultra-high purity 316L stainless steel for semiconductor equipment
GAO Zhanjiang, WENG Jianyin, LUO Hui, LUO Xuewu, XU Xiangyu, FU Jianxun
中国冶金 . 2025, (2): 23 -35 .  DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-9356.20240638

月刊，1991年创刊
ISSN 1006-9356　CN 11-3729/TF
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